二手 NIKON i12D #293823353 待售

NIKON i12D是由NIKON Corp.制造的晶圆步进器I12D是用于生产集成电路、LCD和其他MEMS产品等半导体器件的高端设备。它旨在提供卓越的性能和精度,同时保持可靠和高效的操作。NIKON i12D是一种溷合步骤和重复模式步进器，能够在单个晶片上进行长曝光缝合模式。它具有先进的设备设计,具有低温运行平台和较小的客户占用空间,可提供更高的生产率。晶圆尺寸对于大型面板的直径为150 mm，对于更大的生产则为200 mm。步进器由NIKON品牌的柱式扫描仪供电，缩放倍率为6倍。该系统支持电子束光刻技术和DFE对象测量技术，用于精确的图样绘制。晶片步进器有一个内置的3级迭加对准单元，以确保图样在晶片上的准确放置。它还包括一个实时的"快照"来验证晶圆的质量。机器还提供自动拐角识别,以消除手动干预而步进.扫描角度可以在0°、90°和180°之间变化,允许用户创建所需的阵列。I12D非常可靠，效率超过99%。它以极低的错误率提供卓越的吞吐量。该工具也适合在高温过程中使用，并通过集成的Smart QA软件提供灵活的数据管理。通过自动控制晶圆位置、高速检查和集成其他NIKON/第三方外围设备等功能进一步增强了资产。总体而言，NIKON i12D是一种先进的晶圆步进器，适合大批量生产。它旨在以可靠和高效的方式提供卓越的性能和精度。它提供了一系列有用的功能和高度可靠的模型，使其适合各种应用。