二手 NIKON i12D #293823356 待售

NIKON i12D是一种用于光刻和微加工工艺的步进器。它是一种利用标准光圈或高光圈光学器件的光刻机。I12D由多个组件组成,包括机载光学平台、粗细运动阶段、标线设备和曝光/过程控制。NIKON i12D的光学平台由NIKON三相机设计组成，利用中央主曝光棱镜和两个横向相机捕捉半导体晶圆的完整视野。这使得光学器件的定位更加精确,以获得最佳的光刻曝光和可重复的性能。该光学平台提供0.75和0.5NA光学系统,用于透明和反射掩模,以及高达0.1NA的数值孔径,用于高电导率光刻应用。光学元件直径为6.35mm,提供不间断的光学视线,适用于200 mm ²的制造尺寸。纳米精确级i12D配备了高精度的NIP氟涂层线性导轨，以及纳米运动控制（NMC）系统，该系统采用自动定位，最多允许+-200 μ m的跳跃运动。粗运动阶段的最大运动范围为50mm，而细运动阶段的最大运动范围为16mm。两级均通过精密导引单元控制。NIKON i12D的标线机使用标线交换工具（Reticle Exchange Tool，RES）从stocker转移图样面罩。此资产利用自动对齐来最小化设置时间,并减少曝光的周期时间。最后,i12D的曝光/工艺控制提供了可调的曝光参数,包括曝光时间和激光功率强度,以及工艺设置,如工艺温度、加热/冷却速率和工艺时间。NIKON i12D也可以编程为一键式操作。总之，i12D是专门为光刻和微加工工艺设计的先进步进器。它具有三摄像头光学平台、纳米精确级、Reticle Exchange模型以及可调曝光和工艺设置。该晶片步进器适用于200 mm ²以下的半导体晶片尺寸,提供最佳的光刻曝光、高效的处理和精确的引导。