二手 NIKON i12D #9068880 待售
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NIKON i12D是一种高端晶片步进器,旨在精确测量和成像半导体晶片等基板上的关键器件特征。I12D具有先进的溷合枪光学设备,既使用高分辨率的I线投影镜头,又使用低能量的短波长投影镜头。这种溷合炮系统使NIKON i12D能够准确快速地在晶片上成像深亚微米特征。I12D还具有高精度的双级定位单元,采用空气轴承和电动机驱动的X/Y级。这台定位机是自动化的,能够实现精确间隔的运动,X/Y的精度为10nm,Z.NIKON的精度为1微米。NIKON i12D还有一个强大的照明工具,由具有双曝光的LED闪光灯组成,几乎可以容纳从低空间频率图像到高纳米分辨率的任何应用。I12D具有广泛的操作模式,包括亮场模式、暗场模式、侧视模式、远心模式和环形亮场模式。这些模式的结合使得准确快速地对关键设备特性进行成像成为可能。NIKON i12D还拥有一个功能强大的数据存储资产,称为数字成像模型(DIS),其大容量硬盘能够存储高达256 GB的数据。这样就可以存储多个曝光运行中的图像,并方便地在大型液晶屏幕上查看它们。除了成像能力外,i12D还有许多内置的对准和控制系统,可实现精确和精确的晶圆对准和成像。例如,NIKON i12D拥有高度准确可靠的综合性晶圆未对准检测(WMD)设备。I12D几乎可以处理任何系统和基板,其设计符合业界最高的性能标准。它是满足高分辨率成像要求的理想解决方桉,例如高级半导体器件制造过程中的成像要求。
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