二手 NIKON i14 #9036216 待售
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NIKON i14是一种高性能晶片步进器,用来製造晶片上的精确成型零件,用于微加工。它是高效批量生产所依赖的,具有高度的可重复性和均匀性。它能够处理高达14英寸的大型基板,并能够在高达24英寸的基板上进行光刻。NIKON I 14采用多曝光能力,使其能够以多种精度水平生产零件。它具有将暴露剂量控制在0.01 μ m ²的能力,具有很高的精确度,以便产生纳米级几何形状。此外,i14具有自动反向模式,可以在光刻过程中触发以反向曝光场。在处理复杂的多层次光刻图样时,这是一个非常宝贵的特征。I 14具有高分辨率成像功能,集成了近场光学器件,并具有自旋移位功能,可实现更高的分辨率。它可以产生快速的同时对准自旋移位光刻。此外,自旋移位功能使光学和液晶显示器制造的光电元件能够产生复杂的特性。该设备具有高速6轴机器人,能够在密闭空间中精确、精确地移动。它包括一个提升级,允许晶片以安全和稳定的方式定位。该系统还配备了一个视觉单元,其对准精度为0.1 μ m。该机配备了高效的空气冷却能力,以确保步进器的稳定运行并降低污染风险。它具有先进的控制工具,能够控制步进器的精度和运行时间。NIKON i 14具有这种强大的特性,是各种制造工艺的可靠资产。
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