二手 NIKON i204 #9229245 待售

NIKON i204是一种晶圆步进器,旨在在易于使用的封装中实现最大吞吐量。它具有先进的对齐技术,具有8秒对齐时间、高对比度检测设备和自动基板选择系统（ASSS）。I204配备了一个高度可配置的4级映射单元，它提供了在基板上覆盖的均匀性，并允许更高水平的模式放置精度。它具有18m/s2的最大加速度，使得它能够在处理大小基板时允许高吞吐量。机器的晶圆容量能够处理150毫米和200毫米晶圆。它的舞台被安装在一个大框架上，以获得最大的稳定性，这使刀具具有优越的温度性能并提高其处理速度。NIKON i204具有较高的吞吐量格式,可降低成本,同时还可实现非常精确的性能。资产利用其专有的高级扫描技术来准确检测模式和微小缺陷。最大场尺寸为28mm，每种型号都能分辨率降至0.4µm。设备使用其专有的NIKON Application System （NAS）软件来控制整个光学单元。该机器最多可以存储八个不同的作业,并且可以在将来升级时进行更新。它允许手动调整对齐、放大和层厚度。I204能够通过每次曝光后自动清洁标线来节省时间。它有一个可以补偿射击过程中温度变化的工具，还有一个气体净化工具来减少污染。NIKON i204是一种最先进的步进资产,它在高产模型中提供了非常精确的性能。它具有出色的对齐能力、卓越的模式识别能力,并且可以处理200 mm以下的基板。它具有高度的可配置性,提供了多种增强性能的选项,并且具有内置的清洁工具,可减少维护的停机时间。