二手 NIKON I6 #293775851 待售

NIKON I6是最先进的晶圆步进器，提供卓越的光学性能、吞吐量和成本效益。这种先进的晶圆步进器非常适合各种微光刻应用。I6利用其先进的投影对准，以确保整个晶圆表面的均匀性。晶片步进器具有先进的投影曝光设备和先进的优化光学元件，可实现最佳的曝光透射。这样可以确保高光刻性能和低拥有成本。这种晶圆步进器的投影仪特徵採用新设计的大直径双高斯镜，确保高NA（数值孔径）和均匀的照明强度轮廓。改进后的长工作距离投影光学元件还可以方便地集成到空间最有限的晶片中。步进器还配备了步进器ON/OFF功能,使用户能够在各种腔室中使用步进器。步进器ON/OFF功能允许更快的启动时间,而不会影响曝光的一致性和准确性。NIKON I6具有全自动晶圆传输系统,可提高吞吐量和精度。晶圆采摘单元确保晶圆从盒子安全地转移到步进器。而且，双面晶片处理机快速处理晶片的两侧，以更快的曝光。I6配备了先进的晶圆对准工具，精度更高。先进的对准资产使晶片能够与曝光工具精确对准，从而确保更高的准确性和提高的产量。晶圆步进器还具有先进的层校正控制功能，可确保曝光精度高、精度高。先进的室内温度控制也有助于减少热变化。NIKON I6是确保最大性能和产品产量的完美工具。凭借其先进的特性和优异的光学性能,I6可以显着降低成本,同时提高微光刻工艺的整体保真度。