二手 NIKON I6 #9144950 待售

NIKON I6是为光刻工艺设计的最先进的晶圆步进器。该装置具有先进的设备架构、高精度的操作以及广泛的功能，特别是具有光学功能。I6具有XY冲程25mm的精密级。这可以实现高精度处理,这对于光刻技术的成功至关重要。另外，NIKON I6具有高精度闭环系统，具有自动聚焦功能和晶圆上不同点间高度差的补偿机制。I6还具有一个3维表面感测单元，使基板能够精确对准晶圆的表面。这有助于确保光刻工艺的准确性和一致性。此外，NIKON I6采用离轴投影光学单元，可实现高精度成像。这台机器还包括一个自动艺术品匹配机制，使艺术品能够精确地对准照片掩模。这有助于确保曝光的准确性。此外，该工具还包括对对齐方式的原位自动校正，以解释暴露过程中的任何漂移。I6的光学器件是为支持广泛的分辨率而构建的。该装置可处理30纳米特性以及200微米图桉，精度高，精度高。另外，NIKON I6的板对板重复性± 0.1nm。此外，I6还配备了全方位的传感器和控制器，用于精确的测量和控制。这包括可以精确测量掩模和晶圆对准精度的计量资产。传感器模型还可以测量相邻图样之间的重迭区域，以及分析曝光后的图样。NIKON I6是一种功能强大且用途广泛的晶圆步进器，旨在为光刻应用提供准确精确的结果。凭借先进的设备架构、高精度的操作、广泛的功能，I6是现代半导体光刻工艺中的理想设备。