二手 NIKON i7 #9205849 待售
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NIKON i7是一种晶圆步进器，用于半导体製造过程。它被用于以极高的精度和尺寸变化在晶圆表面上绘制特征图样，使其成为批量生产复杂电子元件的必要机器。NIKON I 7具有一系列精密的光学元件，例如透镜、棱镜和镜面，以及高度精密的软件，旨在精确检测晶圆特征，并以最小的变化精确再现它们。这确保了生产过程的可重复性和可靠性。该机器采用高效的光刻技术，包括全场曝光模块、步进单元、两个平坦传感器、一个平板烘干机和一个曝光后单元。烘干机用于在暴露于光能后干燥晶片表面，而曝光后的单元则执行对晶片表面进行阵列化的关键步骤。I7可以容纳直径不超过200毫米的晶片。其先进的成像设备提供卓越的吞吐率和精确的线宽控制，使工艺工程师能够提供优越的设备产量。该机还配备了独特的缺陷密度监测系统（DDM），以优化其过程，消除潜在的缺陷形成区域。该单元自动检测、记录和分析单元中的缺陷，使工程师能够识别出缺陷浓度异常高的特定区域，并采取必要步骤消除它们。此外,I 7符合OPC（光学接近校正）标准,该标准允许工程师在生产过程中始终达到最佳平版印刷性能。通过将这一功能与DDM机相结合，工艺工程师可以确保高产量的质量组件具有一致的产量。最后,NIKON i7采用了自动校准工具,以提高生产精度并将误差降至最低。这使机器能够在最优点执行操作,从而在很长一段时间内提高吞吐量和产品产量。
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