二手 NIKON i7A #293764351 待售

NIKON i7A是来自NIKON的高精度晶片步进器，设计用于在光刻过程中精确对齐半导体晶片上的层。步进器建设在高精度的Z轴级上，在X、Y、Z位置以三轴控制高达0.6微米的分辨率。I7A配备了一种新型的高功率激光对准设备，设计用于在阵列制作过程中准确定位每一层。步进器还包括一个图像运动补偿器，以校正曝光时的任何小的错位，这可以大大减少对图样进行校正所需的时间。NIKON i7A能够处理直径达8英寸的晶片，并且可以达到6-15晶片每小时的吞吐量速度。其先进的高精度步进电机可确保高速成像,速度高达0.25微米/秒,加速度为250毫米/秒,确保不到1微米的沉降时间。I7A的对准精度建立在具有0.05微米可重复性的高精度级机构和纠错系统上，提供稳定准确的曝光。此外，步进器融合了NIKON LCOS（Liquid Crystal on Silicon）投影技术，提供高速成像和高画质。步进器采用一系列精细的微控制特性,如晶圆自动装卸系统、检测样品边缘的自动边缘检测和支持精确晶圆表面聚焦位置检测的两种自动对焦系统（焦点检测和自动对焦）。NIKON i7A还拥有一个专有的视频显微镜监测装置，用于监测晶圆蚀刻，一个模式放大显示器，以及一个专有的照明模块，以实现最佳曝光。总体而言,i7A是一个高精度步进器,具有一系列功能,旨在为光刻工艺带来精度、速度和稳定性。它的重型结构确保了一个坚固的工具，能够在任何工业环境中提供可靠的结果。先进的跟踪和对齐系统在曝光过程中提供了卓越的精度,而内置的功能使调整和对齐模式的工作既高效又简单。尼康i7A是当今最先进的半导体制造商的理想选择。