二手 NIKON i8 #293593221 待售

NIKON i8是一种光刻晶片步进器，设计用于半导体制造设施。该设备能够执行各种不同的光刻操作，从文字线图样到双图样和堆迭层。NIKON I 8配备了多种最新一代的半导体光刻元件，包括两个高NA透镜，具有极高的分辨率和均匀性。该系统还配备了种类繁多的步进级、精确定位机制、照明系统、计量仪器以及用于精确对准和阵列的蜂窝机器人。凭借其旋转扫描场和先进的高分辨率成像能力，i8可以处理大型光刻工艺以及小作业。I 8提供了一系列性能增强功能,包括高精度对齐和晶圆扫描功能。它具有高度精确的定位阶段,具有纳米分辨率和可重复性,能够精确覆盖和放置口罩和模板。NIKON i8有一个高NA投影镜头，提供了精确打印尺寸为0.1µm或更大的特征的灵活性。这使得它能够以极高的精确度制作图样，并以更大的细节打印超大规模集成（ULSI）半导体器件。投影透镜结合了可编程的均匀场照明系统，允许用户根据需要定义精确照明参数。此外,NIKON I 8还包括一个高级计量模块,用于评估定位精度和层迭。这为用户提供了对打印准确性的理解，并有助于模式验证和校正过程。I8还能够进行堆迭层处理和双阵列处理。通过使用其自动对齐功能和高级机器人技术,设备可以处理复杂的作业（如3D设备结构）,并且还可以蚀刻部分抵抗模式,而不会影响任何底层。该设备还可以实现高吞吐量和低缺陷率,这是由其自动机器人处理过程和快速晶圆交换速度所实现的。最后,I 8的设计占用空间很小,可以轻松安装在各种设置中。其坚固的结构还可确保即使是最具挑战性的制造环境中的可靠性。结合其先进的特性，这使得NIKON i8成为满足半导体光刻需求的卓越解决方桉。