二手 NIKON i8 #293652750 待售

NIKON i8是来自NIKON的晶圆步进器，是一种高精度、高通量的光刻设备，用于生产VLSI电路和MEMS器件。该系统基于6英寸运动稳定的光学平台，并利用浸入式曝光镜头进行高级曝光能力。它采用高端成像单元，包括平行轨道运动直线级、广域变焦和高速、快速聚焦驱动。其曝光能力范围从1mJ/cm2到50mJ/cm2,分辨率为7nm,适合所有高级曝光应用要求。NIKON I 8能够生产当今市场上一些最先进的晶圆步进设计。其先进的设计特点支持平行曝光，并获得了良好的平版印刷位置精度。通过采用光学失真校正的组合，也可以提高分辨率和准确性。该机还采用高精度运动控制系统，可实现半微米分辨率和速度的快速、精确微步进。该工具还集成了许多软件包,例如高精度缝合和最高保真分割,以确保卓越的分辨率、准确性和可重复性。此外，资产还集成了诸如Process Monitor之类的创新工具，Process Monitor是一种监视器，可根据预定义的参数自动调整曝光设置和处理晶片，以保持一致性。I8旨在满足当今和未来光刻应用的需要。该型号非常适合先进的光电、半导体、医用和MEMS设备生产需要。此外,该设备具有很高的可靠性和经济效益,因此,当您需要可靠的光刻系统时,您可以信赖该设备。