二手 NIKON i8 #293797469 待售

NIKON i8晶片步进器是一种高性能的光刻设备，能够处理小批量、实验、原型和批量的大晶片。它专为半导体器件、显示器制造、MEMS器件等广泛的微工作应用而设计。NIKON I 8自动化性强,用户友好,操作方便,性能可靠。I8利用8英寸远心镜头的强大投影系统，为照明光学提供聚焦光束，确保卓越的成像质量。它还具有15毫米长的工作距离，非常适合球形倾斜的微结构。I 8提供了借助多个对齐标记的自动对齐,以及支持高达4倍速度的快速扫描模式。NIKON i8有一个灵活且可互换的面罩传输机制，使它可以同时使用大小面罩。掩码传输可以配置一个额外的转盘单元，允许多个晶圆曝光。此外,NIKON I 8的光学蒙版处理机还支持多种类型的蒙版。I8具有广泛的曝光选项,从直接电子束曝光到多种模式CAD格式。它支持从16灰到400灰的抗暴露剂量，还包括在不牺牲产量的情况下加速加工速度的高通量模式。除此之外，I 8还有一个高精度的模式定位工具。高精度的配准资产确保了亚微米范围内的位置精度。除了成像能力外，NIKON i8还拥有出色的工艺控制和数据采集选项。该机提供10级电机控制，具有嵌入式数据采集功能的实时图像数据质量监控模型，以及提供质量和过程控制功能的嵌入式过程控制器（EXCEL）。总体而言,NIKON I 8晶片步进器是一种高度先进的设备,具有出色的成像功能、灵活的掩码处理和高效的过程控制。利用i8,用户不仅可以实现高速成像,还可以以出色的精度和控制来控制其过程。