二手 NIKON i8 #293807130 待售

NIKON i8
製造商
NIKON
模型
i8
ID: 293807130
晶圆大小: 12"
Stepper, 12".
NIKON i8是晶圆步进器的主力,用于半导体加工和微加工。它具有快速、精确的非接触式直写曝光设备,可实现精细的图样处理。NIKON I 8使用Opt-Lite级,带有特别设计的光掩模臂,能够产生线距很小、对准准确的电路模式。舞台可以以0.5微米的增量移动,允许用户以高精度创建复杂的微特征。I8由多格式激光二极管提供动力,该二极管具有从0.2mW到100mW的可变激光功率。这个系统还有一个可变的占空比和变化的脉冲宽度来实现不同线宽的模式。可变高度聚焦控制允许在创建不同高度的图样时提供卓越的精度。除了其高度精确的曝光单元外,I8还有一台新的晶圆冷却机,用于提高加工时间。TEC-280冷却工具旨在将晶片冷却至每秒0.5°C,从而消除热失真和焦移。舞台还有一个顶部加热的卡盘,有助于最小化静电荷引起的振动。NIKON i8有一个超高分辨率的检流计扫描仪,能够每秒产生10,000个激光点或点。它配备了一个新的旋转盘,可以在800 rpm的转速下连续旋转,每次连续拍摄都会卸下对焦镜头。此功能有助于减少曝光过程所需的时间。NIKON I 8非常适合通过其专用的软件和硬件创建非常精细、准确的功能。此资产具有完全自动化的对齐过程,可以消除阵列的猜测,并大大缩短设置时间。它还具有易于学习和使用的交互式用户界面。I8是一种可靠、高效的晶圆步进器,可用于精细的制图和微加工。其先进的特性和能力使其成为任何生产线的完美补充。凭借其激光二极管、可变占空比、可变高度对焦控制、TEC-280冷却模型,I8是打造精确度和速度高、复杂微观特征的理想选择。
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