二手 NIKON i8 #9068878 待售

NIKON i8是由NIKON Corporation开发的精密晶圆步进精密光刻成像设备。它是i-line系列步进器中的最新系统。它支持几种技术和功能的集成,以便为高级工艺开发提供理想的工具。步进器具有全自动平台,可提供连续的试用和改进学习。它采用了几种先进的技术,例如NEXIV（一种专有的深亚微米对齐技术）,以确保高打印精度。NIKON专有的ACCUPHASE处理技术和多维喷嘴控制技术为出色的光刻性能做出了贡献。单元中的STEM使用高分辨率空气动力学驱动的反反射光学器件提供世界级的成像性能。该机采用先进的框架成像工具，能够实现多场重迭曝光，以减少模式振荡。高级1 x标线检查功能确保样品斑点与原始晶片上定义的模式一致。先进的光学资产还提供了高精度的二维配准模型（iTDR）以及一个高分辨率和低失真光学设备,用于光片外观控制。此外,系统还配备了一系列功能强大的软件工具,如预测模式测量工具、数据检索工具和过程审核工具。"阵列测量工具"使用户能够捕获批处理数据、查看迭加和漂移趋势以及分析晶圆失真。数据检索工具允许用户从处理过程中创建的图表中收集晶圆特征数据。流程审核工具使用户能够监控来自多个系统和流程的数据,以确保质量。强大的控制器和软件使设备效率最大化,使设备运行速度比其他步进器快三倍。该机器还提供了用于晶圆打印的快速移动和放置的共对齐器。此外，该工具与用于计量应用的大多数激光电平以及用于广泛应用的后端进程兼容。NIKON I 8是先进光刻应用的领先技术资产。它提供强大的硬件和强大的软件工具,可提供卓越的映像性能和快速的周转时间。该模型是经济高效的光刻工艺的理想工具。