二手 NIKON i8 #9144952 待售

NIKON i8
製造商
NIKON
模型
i8
ID: 9144952
晶圆大小: 8"
Steppers, 8".
NIKON i8晶圆步进器是一种全自动、高精度的光刻设备。这台最先进的机器非常适合生产先进的半导体芯片和其他需要严格定义的微观特征的设备。NIKON I 8旨在提供高速、低成本的光刻。它采用了创新的一件式碳纤维底座和轻量级真空卡盘。这样可以确保振动最小化,晶圆平整度极佳,晶圆步进精度更高.系统可提供从0.8微米到0.1微米的分辨率,最大步进精度为3微米。这是由它的精细间距激光扫描镜和高精度级运动启用。I8有一个内置的10倍放大显微镜和四角照明内置到单元。这允许用户对芯片特性进行高精度对准和监控,同时还提供了改善晶圆检查的图像流解决方桉。步进器极具弹性,具有机动预对准器以方便晶片载荷,以及具有一系列照明选项的高适应性晶片步进器,例如UV和KrF。这为制造商提供了使机器适应其特定需求的自由。该工具具有直观的操作资产,包括全面的自动化软件。这控制着诸如曝光、舞台移动、晶圆定向和晶圆处理等子系统。I 8晶片步进器是经济高效的高精度光刻的完美解决方桉。它兼具创新特性,精确度优越,操作方便用户,是先进半导体和器件制造商的绝佳选择。
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