二手 NIKON i8 #9155056 待售

NIKON i8是一种最先进的光刻步进器，用于从半导体制造到医疗设备制造等多种应用。它是一种高精度工具，利用投影光成像，根据计算机生成的设计在基板上精确地创建图样。NIKON I 8是第一台商用光刻步进器，仍然是NIKON光刻工具的旗舰。I8由几个组件组成。首先，它拥有依靠超高压水银灯作为光源的照明设备。该光源位于系统外部,部分目的是为了提高安全性和可靠性。中心光源镀金，以提高反射率。缝隙大小和形状也可以通过内部调整和改进的暗场响应进行调整。投影单元的孔径为25mm，可以产生高达令人印象深刻的20mm平方的大曝光场。它还具有增强的垂直对齐（VA）分辨率,分辨率为0.51 mJ/cm2,或45纳米半音高分辨率,因此在小型几何设备中,密集线条和空间的特征尺寸为1.2 um,最低值为0.1um。配备了坚固的电机或执行器，它提供了更快的步进电机操作和更大的驱动周期灵活性，从而产生优于晶圆对准精度。投影机还包括一个原始的低角度扫描工具，用于在较大的区域上绘制大型图样，以提高表面覆盖率。I 8还配备了多种软件工具来优化光刻过程,包括分层验证检查器、故障检测资产和自动曝光调整模型。此外,其创新的Dicing Output （DOC）设备允许用户在一次曝光的情况下执行单晶片阵列。其强大的软件非常直观，允许用户轻松修改曝光、修改照片技术以及存储和检索蒙版设计。NIKON i8光刻步进器提供了一个可靠的平台，以令人难以置信的精度和分辨率高效创建复杂的模式。NIKON I 8具有独特的功能、强大的软件和性能,是业界首选的光刻步进器,适用于许多精密应用。