二手 NIKON i9 #139030 待售

NIKON i9是一种高精度、顶级的光刻晶片步进器。用于将图样从光掩模传输到集成电路中的主要组件半导体晶圆。步进器在同步机构上工作，在模式传输中带来高精度和重复性。NIKON I 9配备了最先进的沉浸式镜头和先进的照明光学器件。使用诸如流体或气体之类的浸入介质可以实现高分辨率和卓越的成像性能。它有一个大的镜头数值光圈设备，允许高分辨率的打印和覆盖精度，同时提供优秀的景深。集成计量学系统，基于激光干涉测量，允许用户在步进器上现场测量最终打印的图样，而无需从机器上取出晶圆。这样可以快速轻松地检测到过程中可能发生的晶片级缺陷。步进器提供样品支撑，由基板级和掩模级两个阶段组成。基板和掩模级装有用于检测运动的光学传感器，由复杂的线性电动机和精密编码器网络连接和控制，提供极其精确和可重复的运动。I9还具有自动确定晶片平面并使其保持聚焦的自动聚焦单元。这消除了手动调整的需要,并有助于提高生产吞吐量。I 9由一台直观且用户友好的基于PC的控制机器运行,它包括许多功能,如微调参数、实时监控曝光后工具和错误检测功能。通过众多安全协议和测试程序,确保了高耐用性和长寿命性能。这确保了长期可靠和一致的性能。总体而言,NIKON i9是一款先进的尖端晶圆步进器,具有卓越的成像性能、实时监控功能、自动聚焦和集成计量功能。它是精密生产集成电路的宝贵工具，提供极高的准确性和可重复性。