二手 NIKON i9 #293797470 待售

NIKON i9是来自世界最大的光刻设备制造商的浸入式高端晶圆步进器。这台业界领先的机器是先进工艺的理想平台,为具有挑战性的晶体管设计提供卓越的成像性能。NIKON I 9比其他步进器高一步，具有最新一代的TTL激光干涉仪、积分减振和边缘增强技术。I9有一个5X5-inch的工作区域，提供了广泛的分辨率，是理想的背面光刻和图案。其优越的分辨率和精确度结合最新的晶圆加工技术，包括浸入和浸入油，意味着它可以产生小于0.1微米的超细线宽。集成的减振功能使I 9成为当今市场上最可靠、最准确的工具之一。该设备设计具有一系列先进的可扩展性和过程控制能力。多种专用曝光模式（如自动边缘增强和自动激光电源控制）可实现精细曝光控制。这样可以确保模式能够准确、快速地复制。该系统包括自动曝光源关闭功能，以保护光学器件免受尘埃颗粒和其他污染物的影响。NIKON i9还具有智能布局单元,该单元经过优化以实现更好的阵列和曝光控制。曝光场可分为4至9个较小的部分，更容易控制各种形状、大小和曝光配方。曝光现场优化工具最大限度地提高了吞吐量,最大限度地减少了手动优化的需求。NIKON I 9的软件架构包括一个功能强大的图像生成和曝光控制软件，称为Predictive Exposure Control（PEC）。PEC简化晶圆处理，并提供所有工艺参数的内置监控，以提供质量控制反馈。一个灵活的维修机器允许快速和易于修理和维护的工具。I9是一种功能强大且可靠的晶圆步进器，旨在满足先进半导体工艺的需要。其卓越的分辨率、精确度和可扩展性，结合最新的工艺控制工具，使其成为背面光刻和图桉设计的完美资产。