二手 NIKON KDP1640EHE #293668739 待售

NIKON KDP1640EHE晶片步进器是一种下一代设备，旨在为先进的半导体器件生产提供高分辨率成像和光刻性能。它配置了NIKON场发射枪扫描电子显微镜（FEG-SEM）和提供低失真、高速数字成像的直接曝光技术。KDP1640EHE具有五轴桥式运动级隔离系统,具有高速正交扫描功能,可确保可重复和稳定的放置精度以及步进和重复性能。它设计一次最多可容纳四个6英寸的晶片，并且可以处理多达20毫米厚的晶片，最小条带宽度为0.2 μ m。该单元还包括具有低失真安装的标线组合器的高速标线交换能力，以提高配准精度和减少对准时间。该机的镜头控制工具具有高精度的四轴对准和高度精确的步进和重复能力，提供精湛的图像处理和光刻性能。它具有自动化的图像居中资产（自动将晶片居中以提供最佳曝光）,以及功能强大的掩码模式编辑器,使操作员能够快速创建复杂的曝光模式。NIKON KDP 1640 EHE的机动化标线级提供了高达+/-1 μ m的精确移位,以其机动化标线负载和卸载能力最大限度地提高吞吐量。模型的自动对齐功能确保无移位高速扫描曝光，使操作员能够专注于其他任务。此外，它还配备了一个焦点监视器，以监测每个步进射击的焦点范围。除了提供高端晶圆步进器所期望的精度和精确度外,KDP1640EHE还提供直观的图形用户界面（GUI）和易于使用的数据控制功能。可以通过GUI访问成像条件、可编程镜头控制设置和图样编辑功能等功能,并且包含的自检和设置功能可提供有关设备性能和功能的详细信息。控制控制台还允许使用8英寸触摸屏界面和大格式、符合人体工程学的键盘快速启动过程。总体而言，NIKON KDP1640EHE是一个极其可靠和用户友好的系统，为操作员提供精密的半导体器件生产所需的准确性和速度。它的自动化对齐、全面的图像编辑和改进的焦点监控工具使其成为大型设备制造和研究应用的理想单元。