二手 NIKON NES1 H04 #9225317 待售

NIKON NES1 H04
製造商
NIKON
模型
NES1 H04
ID: 9225317
晶圆大小: 6"
优质的: 2010
Mini steppers, 6" Resolution: 2 μ L/S, K=0.8 Wave frequency: H line (405 nm) N.A: 0.16 Exposure range: 15.00 mm x 15.00 mm ~ 11.23 mm x 18 mm Alignment accuracy: |M| 3σ ≦ 0.3 μm Reticle size: 5” x 5”, t=0.09" Quartz glass Throughput: 6” Wafer (61) shots, 60w/h 2010 vintage.
NIKON NES1 H04是为半导体制造中具有挑战性的光刻工艺而设计的高精度晶圆步进器。它提供精细的成像,分辨率为325 nm/step。直观的设计很容易适应各种层压和曝光应用。晶片步进器具有精确可靠的扫描系统,能够精确对准掩模和晶片,确保准确和可重复的水平和垂直坐标。它配备了支持扇形束缝合的大幅面定向台,以提供更高的模式对准精度,以及更大晶圆的全扫描模式。NIKON NES1-H04提供了许多使光刻应用更容易和更高效的功能。它包括NIKON专有的语音图像处理技术(VIPT),它允许用户根据模式和材料快速调整曝光参数。它还包括世界领先的多EXEL自动化,以支持高DUT接受度。晶圆步进器还具有直观的触摸屏用户界面,可直接访问机器的所有功能和设置。这包括用于可视化工作进度的摄像头视图以及预设曝光设置。所有这些设计功能结合在一起,为一系列光刻应用提供卓越的性能。可靠的扫描系统可确保精确的模式对齐,而直观的GUI则可快速轻松地进行调整。对于在光刻过程中需要最高级别的细节和准确性的用户,NES1 H04是理想的解决方桉。
还没有评论