二手 NIKON NES1 H04 #9356064 待售

NIKON NES1 H04是晶圆步进器，一种用于创建用于打印集成电路的光掩模的精确工具。该设备为用户提供了一个极高分辨率的曝光系统，该系统由高度精确的数控模式步进器组成，可确保精确和可重复地曝光光掩模。NIKON NES1-H04利用强大的8.4微米微聚焦光学器件，提供0.5微米的全分辨率，精度为+/-1.5um，可重复性为+/-3um。此外,它还具有创新的子场级步进器,其精度为0.2微米。其0.5秒的步进重複时间，使得在大多数大批量列印环境下都能够快速不间断的运作，而整合的重複性错误补偿（REC）技术更进一步提升了光刻的任务。晶片步进器还拥有一个高度灵敏的电荷耦合器件（CCD）摄像机，用于监测样品完整性和位置精度。这台CCD相机非常灵敏，采用了12.3百万像素分辨率的CCD，帧速率为每秒10帧，以便在制作光掩模时对样品进行详细分析。此外，该单元还采用了特殊的专有腔室设计，确保了均匀的密封压力，同时允许调整气流以适应具体情况。这使用户能够方便地为各种应用（如部分曝光）定制机器。伴随这些特点的是一系列用于精确对准和对焦的自动化操作，包括物镜自动对焦、自动归零和自动标线定心。这些智能功能可帮助用户以最小的努力精确定位晶片以实现最佳曝光。总而言之,NES1 H04提供了实现卓越光刻效果的高级功能,显着减少了光掩模的制造时间和成本,并为用户提供了最高级别的性能和可靠性。