二手 NIKON NES1 H4 #9239624 待售

NIKON NES1 H4是用于生产半导体晶圆基板的半自动高精度步进器。H4晶片步进器在10 μ m时具有较高的收率和更高的精度.它配备了多种特性，在半导体行业使用超过15年。NES1 H4是一个单场步进器，场大小为56.4 x 56.4mm，最大级大小为25.4 x 25.4mm。步进器装有多模式旋转级（MPRS），可360度精确对准。H4晶片步进器在500毫米范围内的最大分辨率为0.1 μ m。步进器配备了由放置显微镜、激光位移传感器和对准改进处理器组成的对准/曝光设备。它还具有高精度投影仪镜头、采样对准、光束偏振控制等功能。NIKON NES1 H4具有支持使用深紫外线（DUV）和极紫外线（EUV）光刻技术的波长范围。步进器与i-line和KrF激光器都兼容，并且被设计成可以使用多达四个不同的激光源。步进器还配备了软硬件工具，以减少光学失真、场均匀性和打印质量。晶片步进器能够处理多种晶片基板，如单面和双面光掩模、表面安装装置和无间隙金属绝缘体金属（MIM）装置。它还能够高精度地制作各种基板的图样。此外,NES1 H4还具有多种功能增强模式,使其能够产生刚性的亚微米结构,并最大程度地减少壁角变化,以及卓越的迭加精度、均匀的聚焦和更高的吞吐量。在安全措施方面，NIKON NES1 H4的设计符合国际标准组织（ISO）的安全标准。步进器的联锁系统可防止意外激光照射，其防尘功能可降低污染风险。步进器上的保护涂层可防止电离辐射的损坏，而该单元的EEPROM设计是为了防止电磁干扰。总体而言,NES1 H4晶片步进器是一种先进的技术,可提供卓越的精度、高产量和可靠性。这台机器能够精确地设计各种基板，并具有各种安全特性，以便更安全地进行生产操作。