二手 NIKON NSR 1505 G4 #121003 待售

NIKON NSR 1505 G4是一个开创性的步进器，引入了许多既全面又高度复杂的特性。这是一个将各种光学和光刻技术以及微电子和力学/热技术结合成一个系统的装置。它旨在提供最先进的精确度、精确度和光刻过程中的功能。它是NIKON步进器系列的最新产品,拥有无与伦比的图样质量和注册精度。该系统能够处理要求最苛刻的应用程序的要求。NSR 1505 G4非常适合应对先进技术节点的挑战,例如光掩模生产,因为高吞吐量和过程灵活性至关重要。NIKON NSR 1505 G4的一项重大创新是合并了一个创新的远程中心光学索引照明,即OIX技术。这一过程能够提供极小尺寸的高精度、高度均匀的矩形均匀投影图像。此功能提供卓越的成像性能和图像对比度,以提高吞吐量和分辨率。除了OIX Technology之外,NSR 1505 G4还进一步配备了广泛的其他高端功能,旨在提供卓越的阵列质量和可重复性。例如,它的双焦距双波长特性使它能够提供更好的分辨率和图样精度,而可变放大倍率允许它容纳广泛的图样特征,并实现高精度的步长和重复操作。NIKON NSR 1505 G4还融入了所谓的无色图像传输技术，在减少光刻伪影的同时提高了图样的精度。此外，该装置还具有可调基板温度控制器，可以为基板的每一层分别设置，从而提高光刻工艺的性能和可靠性。此功能通常适用于涉及大型基板的应用。NSR 1505 G4是高分辨率光刻生产的强大而全面的工具。它提供了多种高级功能,可实现具有可重复性和高吞吐量性能的精确阵列。该系统非常适合要求最苛刻的先进技术节点的需求。