二手 NIKON NSR 1505 G4 #293602063 待售

NIKON NSR 1505 G4是为高端半导体工艺光刻而设计的高性能晶圆步进器。它有效地结合了针对超高数值孔径（NA）要求优化的光学设备和先进的显微镜和成像系统。该单元在其大的景深下动态优化曝光，并提供优越的工艺光刻效果。NSR 1505 G4具有大的135毫米（mm）场大小,扫描仪放大倍数可达4500倍。它提供0.7 µm的最小分辨率和0.2 µm的最大线宽，允许开发高分辨率光学器件和快速曝光时间。凭借其高精度的成像能力，它甚至可以精确地再现最复杂的图桉。这种晶片步进器还具有高度先进的曝光控制机器，它实际上消除了每个曝光场的缺陷。此控制工具可自动补偿每个曝光字段内的漂移和焦点偏移等错误。它还允许更高的曝光吞吐量和非常短的曝光周期时间。NIKON NSR 1505 G4汇集了性能卓越、易于使用的资产。它具有复杂的直观和用户友好的基于软件的模型控制功能,允许用户在同一设备上轻松编程、存储和召回作业。这使得曝光设置具有高度的灵活性，允许系统用于许多不同的曝光作业。NSR 1505 G4提供多种支持和服务选项,便于维修或更换部件。它还提供了广泛的定制，允许用户满足其光刻工艺的具体需求。NIKON NSR 1505 G4单元是半导体工艺光刻行业的巨大进步，为高端芯片的生产提供了前所未有的性能、灵活性和质量水平。NSR 1505 G4晶片步进器具有大的景深、高分辨率、快速的曝光时间和易于使用的软件控制等特点,非常适合半导体行业的最大参与者。