二手 NIKON NSR 1505 G4C #293607260 待售

NIKON NSR 1505 G4C Wafer Stepper是一种极其精确可靠的机器,用于在各种基板上创建微芯片。该机器专为在3D结构中创建低至0.5 µm的特征尺寸而设计,能够以1200晶圆/小时的最大速度以0.7 µm的最小特征尺寸曝光200 mm晶圆。NIKON NSR 1505 G4C机器坚固的设计融合了高速晶片级设计，支持大小在200-450mm之间的大小大小晶片。它还配备了三个曝光室和一个晶圆处理系统，旨在确保在整个曝光过程中的高精度和可重复性。此外，该装置基于可靠的曝光过程，使用波长为308nm的深紫外线（DUV）激光器制造芯片。此组合可用于广泛的应用,如光刻曝光、打印和涂层、直接书写、接触曝光和图案传输过程。为确保精确准确曝光，该机配备了高分辨率自动对准光学、智能模式对准、数字边缘检测等功能。该设备还支持各种阶段迭加对齐方法，旨在确保芯片设计和曝光模式之间的最佳匹配。而且，步进器能够提供出色的重复性和准确性。该设备经过精心设计,可持续进行数千次曝光,其对准精度可达到4nm。这种精度水平考虑到热漂移、振动和空气湍流引起的任何误差。除了晶片步进器本身之外,NSR 1505 G4C晶片步进器还提供了一整套编程和校准工具。这包括由NIKON提供的G4C控制中心,帮助用户优化曝光过程、管理曝光以及对高质量芯片生产进行任何必要的更正。为了满足半导体制造领域广泛应用的不同需求，NSR 1505 G4C晶圆步进器可以与NIKON提供的许多其他增值服务和产品一起使用。其中包括曝光室、清洁系统以及各种旨在将晶片最佳地转移到曝光区的物品篮。NIKON NSR 1505 G4C Wafer Stepper是一种非常精确可靠的芯片生产工具,它结合了坚固的力学和尖端的设计。它提供了精确度、速度和灵活性的无与伦比的组合，适用于适用于半导体制造行业的各种应用。