二手 NIKON NSR 1505 G4C #9222897 待售

NIKON NSR 1505 G4C是晶圆步进器,非常适合执行各种光刻任务。它是一种高度可靠的全场光学步进设备，能够处理高达150毫米的晶圆。其光学系统是专门为提供卓越的图像质量和场平面度而设计的。它有一个先进的快门单元，能够广泛的曝光和剂量控制，而它的X-Y阶段，使快速，精确的对准。NIKON NSR 1505 G4C配备了NIKON专有的多束对准机（MBAS），使对准精度极佳，对准时间显着缩短。步进器有先进的照明工具，提供高精度和均匀的曝光。其灵活、完全可编程的AutoFocus资产还通过其自动、实时对焦调节功能,确保了镜头倾斜的准确性,并纠正了表面轮廓的变化。NSR 1505 G4C还具有高精度、高分辨率的X-Y级,可确保基板处理和定位的精度和准确性。此外,步进器的最先进的直接驱动电动机可实现快速、精确的对准。步进器配备了广泛的成像选项，包括航拍影像、轮廓影像、缩放影像，以及对比度可调的影像。它还通过其独特的光学探针传感器提供板载晶圆识别功能,使步进器能够识别所使用的基板类型。步进器有一个集成的视觉模型，可用于获取、测量和处理曝光期间的图像。这种设备允许自动执行许多功能，例如检查和检查基板。NSR 1505 G4C具有全面的晶圆跟踪控制能力。能够监控晶圆温度、腔室压力、工艺气流等项目。此外,步进器的高级自动化系统允许自动加载和卸载晶片。最后，NIKON NSR 1505 G4C配备了一个完全集成的缺陷检查单元，可以让用户快速准确地检查晶片表面的缺陷。这台机器能够识别出可能干扰晶圆制造的污染物和表面缺陷。