二手 NIKON NSR 1505 G4C #9296337 待售
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NIKON NSR 1505 G4C是一种先进的晶圆步进器，用于制造半导体和其他微设备。该设备由扫描仪、柱和可伸缩光学系统组成，在光刻过程中实现高精度和高速度。它能够移动大视野，支撑直径可达150毫米的基板，最大视野尺寸为330毫米。G4C单元采用先进的无穷大机器设计，允许放大倍数在1.5X到25X之间进行调整，同时具有高速525 mm/秒的扫描速度。它配备了一些最优秀的功能，包括直接对准工具、模模针迹和可变形状的光束扫描，实现超精细分辨率。NIKON NSR 1505 G4C资产能够在一次扫描中处理多个曝光应用，从而实现更高的吞吐量和更高的精度水平。这是通过可变形状光束扫描（VSB）模型启用的,该模型提供精确的控制,以实现打印图样上的尺寸播放或增加线缘粗糙度（LER）。作为市场上速度最快的系统之一,G4C步进器提供28nm的高分辨率和10nm的线宽。它还配备了全同步快门（FSS）设备，减少曝光时间，防止在微观模式上的污名化，并提供高精度的迭加对准。此外,NSR 1505 G4C系统设计为易于使用,并配有对人体工程学友好的控制面板。还包括一个集成的迭加控制单元，允许用户轻松进行调整和校准。包括视觉跟踪机（VTS）和各种智能软件解决方桉，以提高生产能力和生产可见性，允许实时监控和预防性维护。总之，NSR 1505 G4C是一种用途广泛、可靠的晶圆步进器，旨在为微设备的制造提供卓越的性能和效果。
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