二手 NIKON NSR 1505 G4D #293607252 待售

ID: 293607252
Wafer stepper.
NIKON NSR 1505 G4D是一种精密、高性能的光刻扫描仪,用于批量生产直径约150毫米的基板。作为先进的晶片步进器,它具有先进、快速、高效的阵列,可制造高质量的产品,提供卓越的吞吐量和成本效益。1505 G4D设计具有基本的设计特点和强大的照明技术,以方便生产最先进的半导体器件。它的曝光纬度降低了5倍,使其能够产生更精细的分辨率和更清晰的图像,而其专有的高级光学芯片提供了更好的图像质量和更好的聚焦放大倍率。这也得益于其NIKON建造的Aircut机制,该机制减少了光刻盖中气流造成的模式转移的差异。NIKON NSR 1505 G4D的核心是其高功率、850nm、连续波红外激光源,由于其可预测的曝光功率和输出光束的绝对均匀性,因此能够实现卓越的吞吐量和高光电压。这样可以确保即使在制造最先进的半导体元件时,蚀刻的图样也会有最小的缺陷。1505 G4D的先进光学也使得它在可编程性和后处理能力方面具有很高的灵活性和效率。它具有现场可编程逻辑阵列(FPLA),可以快速编程针对特定基板和晶圆尺寸量身定制的曝光配方,以及可用于精确对准、旋转和放大的复杂计算的超高分辨率可编程电动光学器件。它还与各种步进器兼容,以确保可用于各种工艺和材料。此外,NSR 1505 G4D还提供了一系列安全功能,包括主动对准系统,可防止热站点损坏。它与先进的热管理系统和风扇速度控制配合使用,以确保在制造过程中对设备的热损害最小。最重要的是,NSR 1505 G 4D获得了多种行业标准安全协议的认证,如ISO 10218-2和NFPA79,因此您可以确信它符合最高安全标准。总而言之,NIKON NSR 1505 G4D是一种用途广泛、功能强大的晶圆步进器,用于精密光刻工艺。它可以用于要求和复杂性各异的广泛基板,其先进的技术确保了高图像质量、最小缺陷和更好的成本效率。其安全特性和与行业标准的兼容性使其成为制造半导体元件的高度可靠的工具。
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