二手 NIKON NSR 1505 G4D #293607253 待售
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NIKON NSR 1505 G4D是一种5英寸晶圆步进器,用于多种微加工应用。它旨在提供高数据吞吐量和准确的对齐能力,同时实现最高级别的性能和效率。这种最先进的技术极大地改变了生产半导体制造的面貌。NIKON NSR 1505 G4D设计用于各种晶圆大小和特征大小,同时处理多达15个晶圆。它能够处理多种过程选项,包括全膜投影、多次曝光、分层对齐以及各种类型的对齐。NSR 1505 G4D配备了高精度的旋转级,允许快速、精确的对准和最大的灵活性。NSR 1505 G4D拥有多种集成的数字成像系统,以合理的成本提供高分辨率和低噪声特性。其吞吐量速度极快,在关键的对准步骤中可分辨率超过10微米。它还具有镜头错误检测功能,可以提醒用户任何不符合设计对齐要求的潜在镜头。NIKON NSR 1505 G4D的车载控制系统有助于调整图像比例、图像中心和Z级。其强大的数据管理软件提供了增值功能,如对齐矩阵库、内置诊断和远程监控。NIKON NSR 1505 G4D先进的自动化能力使其成为晶圆生产过程的理想选择。它配备了逐行自动搜索算法、自动图像优化、自动基板交换、自动狭缝控制等功能。此外,它的交互式编程设备加上简单的图形用户界面为用户提供了一个易于操作的系统。NSR 1505 G4D非常可靠,具有内置的振动检测单元,可防止刀具损坏。它还提供了许多安全功能,包括但不限于防火墙、冗余电源和有效的安全联锁安全系统。最后,该机器设计为具有竞争力的成本和较低的维护要求,使其成为半导体制造过程的理想解决方桉。
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