二手 NIKON NSR 1505 G4D #293607257 待售

NIKON NSR 1505 G4D是一种最先进的晶圆步进器，旨在满足最先进和要求最苛刻的微光刻应用的要求。其设计融合了第四代先进的5-6 nm红外激光器，以允许对光掩模进行最高精度的处理，以及处理适合当前和下一代光刻的较大基板。NIKON NSR 1505 G4D晶片步进器结合了自己的第4代激光器和业界领先的降低相干性,为高级显微光刻应用提供了卓越的成像能力。晶圆步进器还具有250毫米/秒的最高速度,以及集成的自动对准设备（AAS）,可实现0.5 μ米的亚微米对准精度。激光系统还具有高达0.3 μ m的分辨率和0.0001秒的时间间隔精度。NSR 1505 G4D的一个独特特点是集成了先进的6轴电机控制单元以及高度可靠的零维护和短脉冲调节功能。这确保了满足关键应用程序要求的最高精度。此外,步进器还配备了一个控制台,该控制台采用全彩色LCD图形用户界面,可快速准确地进行测量和操作。除了具有高度先进的成像和运动控制功能外,NSR 1505 G4D晶片步进器还具有暴露接触和非接触标线的能力,可提供最大的工艺灵活性。其专有和用户可编程的机器软件使复杂的掩码和晶圆模式的管理变得容易。此外,该工具的设计是完全可升级的,以保持其多年来的性能。综上所述,NIKON NSR 1505 G4D是一种高级且高度精确的晶圆步进器,旨在满足要求最苛刻的显微光刻应用程序的要求。NIKON NSR 1505 G4D凭借其AccuFMR电机控制和独特的时间间隔精度,以及集成的AAS和用户友好的全彩色图形用户界面,是一项顶级资产,旨在为广大用户提供卓越的成像和过程控制功能。