二手 NIKON NSR 1505 G4D #293616233 待售

NIKON NSR 1505 G4D是一种综合性的多功能晶圆步进器,旨在满足广泛的生产要求。该机器的创建是为了在半导体器件的生产中提供先进的光刻能力和高水平的性能、效率和可靠性。NIKON NSR 1505 G 4D具有双轴级，由超精确的X、Y、θ电机设备驱动。该系统允许以1,000 nm的最高速度进行超精细对齐和单轴移动。位置对齐精度为0.1 μ m。该机配备了使用单一氙气光源的先进3室浸入式装置。它能够保持高水平的吞吐量和光强度,以生产完整的芯片。这台机器提供0.14 μ m的最大分辨率和0.93的NA（数值孔径），允许精细成像和高品质的晶片。NSR 1505 G4D还配备了全自动、高精度的模片对准工具。这样可以快速纠正位置错误,同时保持准确性和吞吐量。安全是NSR 1505 G4D的优先事项。它包括一个开门互锁（OGI）传感器,在发生任何异常或紧急情况时检测和停止资产。自动测量模型（AMS）监视机器的使用模式,确保立即发现和报告任何潜在的故障或故障。此外,NIKON NSR 1505 G4D具有多种高级软件功能,旨在最大限度地提高质量并简化维护。机器配备了过程控制、校准、批次跟踪、模式质量控制等工具。总体而言,NIKON NSR 1505 G 4D是一款先进高效的晶片步进器,专为高精度芯片生产而设计。它结合了强大的硬件和先进的软件，使它具有很大的灵活性和多功能性。是生产高科技电子电路和元件的理想机器。