二手 NIKON NSR 1505 G4D #293818883 待售

NIKON NSR 1505 G4D Wafer Stepper是一种高性能设备,能够对下一代晶片进行复杂的光刻操作。它提供了广泛的功能,旨在为大规模批量生产的设备提供快速、准确的光刻技术。步进器使用两组镜头镜头-一组用于照亮目标图样,另一组用于检测结果图样,使其能够在不同类型的晶片上精确再现图样和特征。NIKON NSR 1505 G4D采用NSR-C80i面罩对准器和NSR-I140116成像控制板.掩码对齐器提供了许多对齐和定位选项,可快速设置整个步进器。成像控制板用于控制光刻操作，精度高，灵活性高。该板有助于高效管理三维（3D）光刻操作,并确保与目标晶片上的图样精确对齐。NSR 1505 G4D Wafer Stepper设计用于DUV和i-line工具。其曝光面积直径5英寸，深度10微米。该装置支持最多± 30微米的光照，最大聚焦深度为13.5微米。步进器精度高，扫描速率高达每小时1,500晶圆。该系统能够在6分钟内对1500个晶圆进行插值和集成。步进器配备了最先进的NSR-G200图像处理控制器，负责提供光刻操作的高效控制。它还提供了线宽检测、模式分析、区域补偿和纠错等几个附加功能。NSR 1505 G4D晶片步进器非常适合用于组装高性能半导体芯片、纳米设备和其他精密电子产品。它为所有类型的光刻提供了高效可靠的解决方桉，并提供了高生产率和低运营成本。该设备具有卓越的光刻能力，可作为晶片制造商和工程师的绝佳选择。