二手 NIKON NSR 1505 G4D #293819196 待售

NIKON NSR 1505 G4D是一种晶片步进器，设计用于半导体工业中的光刻晶片加工。NIKON NSR 1505 G 4D是一款高端生产级步进扫描设备，能够实现半导体电路的精密微图样化，具有可调节的折射投影镜头和更大的对准视野。它采用了最新的先进成像技术，以高精度和非常精细的分辨率实现直接对齐和模式传输。该系统具有出色的阵列放置精度、无失真图像保真度,以及允许最高吞吐量和高级环境控制的选项。它的图像尺寸为5英寸，可以容纳最大8英寸的基板。曝光波长为248nm，支持激光干涉仪。NSR 1505 G4D是为高精度和低模式失真而设计的。其高吞吐量和精细分辨率通过其Step和Scan技术实现,并通过主动对准和高级光学优化来精确复制用户生成的掩码模式。此外,还可以调整扫描速度以优化处理时间。该装置采用先进的环境控制，配有晶圆边缘跟踪机进行聚焦和对准，有源传感器用于晶圆平整校正，以及自动级校准。它可以手动、半自动或全自动模式操作，具有自动入射照明和快门控制。此外,还提供了对该工具所需的计算资源、软件、支持和RAM的访问。它还可以提供实时监控和反馈,以帮助确保更快、准确和高效的晶圆处理。总体而言，NSR 1505 G4D是在半导体工业中生产先进光刻和微制图工艺的完美工具。它采用最新的先进成像和环境技术构建,并针对生产吞吐量和准确性进行了优化。这使得它成为许多半导体行业的理想选择。