二手 NIKON NSR 1505 G4D #9226100 待售

NIKON NSR 1505 G4D晶片步进器是为半导体和集成电路制造设计的先进光刻系统。它能够进行广泛的过程，如暴露、抗涂层、抗显影。NIKON NSR 1505 G 4D配备了高精度两轴扫描级和340 nm, 4 mJ ArF激光源，与常规激光源相比，提供高达4倍的光响，同时显着提高了迭加配准精度。曝光模式的精度提高用于产生更精细的线条和模式，从而能够以更高的精度生产更大范围的元件。NSR 1505 G4D的最大级行进距离为355毫米（直径14英寸），最小分辨率为0.5 μ m。步进器极端注重过程控制和准确性，以及用户友好的界面，确保其操作既高效又可靠。NSR 1505 G4D与广泛的抗蚀剂材料兼容，允许进行多种光刻工艺。这包括：液体浸泡，先进的微机械，SU-8，和灯塔结构模式。NIKON NSR 1505 G4D适合在1 μ m至200 μ m的尺寸范围内执行高精度图桉。它还能够产生形状和大小有显着差异的图桉，具有0.5米μ线条和空间等小特征，直至直径可达20毫米的大型特征。为了保护晶片表面，NIKON NSR 1505 G4D包括一个积极维护清洁环境的先进真空系统，以及有助于保护晶片免受光漂白和其他缺陷影响的温度和湿度控制系统。除了精确度和可靠性外,NSR 1505 G4D还具有快速曝光时间和高速处理功能,可实现大批量生产。步进器包含一系列安全系统，以尽量减少操作员和其他人员可能受到的辐射。最后，NSR 1505 G4D是一种用于半导体制造的领先光刻系统。这种先进的晶片步进器提供了高精度、高质量的曝光模式和更强的能力，允许生产更多的元件。它提供了一整套环保功能和安全措施，其快速曝光和高速处理能力驱动效率和可靠性。