二手 NIKON NSR 1505 G4D #9269100 待售

NIKON NSR 1505 G4D
ID: 9269100
晶圆大小: 6"
Wafer steppers, 6".
NIKON NSR 1505 G4D Wafer Stepper是为半导体和平板显示器制造而设计的先进光刻设备。这种晶圆步进器被设计用来使用光学和其他技术的组合,快速准确地将图样转移到各种基板上。NIKON NSR 1505 G4D晶圆步进器能达到高达600 µC/cm2的曝光剂量,可用于绘制小至10 nm的特征尺寸。NSR 1505 G4D Wafer Stepper配备了一种独特的扫描机制,它可以消除复杂的纳米结构模式,而不会降低模式写入速度。直接驱动级和超高密摄像机系统等组件采用了投影光学等高级功能,其数值孔径为0.55。这种先进的技术可确保在整个视野中的曝光准确且统一。NSR 1505 G4D晶片步进器的核心是超灵敏激光模式倍增器。此组件与高级光学单元配合使用,使步进器能够提供多种模式写入选项。曝光法是可重复的,可用于创建高精度、高精度的高质量图桉。NIKON NSR 1505 G4D Wafer Stepper由采用下一代触控晶片加载器的高性能网络计算机供电。此高效单元可快速处理晶圆传输并准确评估晶圆段的位置、可用性和对齐方式。晶片装载机能够检测到高达微米的模式覆盖差异,并能够对多达六个并行晶片进行曝光。NIKON NSR 1505 G4D晶圆步进器是可调的,可以在最短的设定时间内接受新的模式,让製造商保持弹性和生产力。晶圆步进器能够在湿度高、温度高、照明低的环境中高效运行。NSR 1505 G4D Wafer Stepper的附加功能包括自动辅助气体、内置气体控制机和完全可调节的车身重量工具,以提供镜头元件的稳定运动。最后,晶片步进器的维护友好型设计允许快速维修和更换有缺陷的零件,同时尽量减少生产过程的中断。NSR 1505 G4D晶圆步进器是一种先进的光刻资产,为半导体和平板显示器制造商提供高精度、重复性和灵活性。它具有多种特点和功能,是先进光刻应用的最佳选择。
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