二手 NIKON NSR 1505 G6 #293778039 待售

ID: 293778039
Stepper.
NIKON NSR 1505 G6是目前使用的晶片步进器,设计用于在硅片上产生微结构。该设备可促进创建微芯片和其他用于各种领域的小型化电子元件。NSR 1505 G6晶片步进器的核心是两级还原镜头。镜头拥有广阔的视野,最大扫描长度余量360毫米,最小1.5毫米。光束通过四镜设备进行管理,可用于从各种数据源在晶圆上创建阵列。NIKON NSR 1505 G6的最大图桉尺寸为5 μ m。该设备使用基于反应性离子蚀刻(RIE)的模式传输系统。NSR 1505 G6的扫描阶段可以精确定位和对准晶片进行处理。该级能够在X轴和Y轴上将晶片移动到200 mm,步长减小到0.2 μ m。在设备操作过程中,光束和晶片的位置精度± 0.5 μ m或更高,从而使产生的图样精确且质量一致。NIKON NSR 1505 G6晶片步进器还具有自动对焦单元,允许用户快速调整对焦控制设置,以确保在整个过程中最佳对焦。该装置还拥有一台高效的粒子束控制机器,用于检测和抑制暴露于气态物质时产生的粒子,从而提高所产生模式的整体保真度。NSR 1505 G6由耐用材料构成,能够承受高达500 m/s2的冲击和振动,非常适合在生产环境中使用。该设备带有一个用户友好的操作员界面,允许直观的操作和自动化,并且可以连接到计算机,以便更好地控制和更容易地管理过程中的多个步骤。总体而言,NIKON NSR 1505 G6晶片步进器是一种可靠、精确的仪器,能够精确地在硅晶片上产生一系列具有精确可重复性的模式。该设备是高度模块化的,可以连接到生产的其他元素,自动化以提高效率和吞吐量,使其成为任何希望在硅片上创建精确结构的人的绝佳选择。
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