二手 NIKON NSR 1505 G6 #9068875 待售

NIKON NSR 1505 G6
ID: 9068875
晶圆大小: 6"
Steppers, 6".
NIKON NSR 1505 G6是一种高性能晶圆步进器,设计用于生产中小范围IC(集成电路)器件。它采用了最新的光刻技术,NIKON经过验证的G系列技术,并进行了几项专有创新。NSR 1505 G6步进器基于最先进的双柱C型框架设计和先进的真空室。这为提高吞吐量、提高产量和降低成本提供了卓越的热电平台稳定性、高对准精度和低振动。NIKON NSR 1505 G6步进器装有5轴对准和双面激光干涉仪系统,能够以快速的测量速度测量很小的几何形状。这允许高效生产最先进的集成电路。NSR 1505 G6步进器还配备了NIKON先进的对准架构,以优化和控制焦点控制深度和用于betetr扫描匹配标线的微光学。步进器还配备了扩展的100毫米视场(FOV),允许晶片以高、低成本和高分辨率成像进行扫描。扩展的FOV使得减少每晶圆的图像曝光次数成为可能,使其成为一种高效的生产工具。NIKON NSR 1505 G6的卓越能力和性能也部分得益于其精密的照明设计和超高分辨率曝光系统。它能够为开发人员提供生成极小特征所需的精确照明。高端光学设计,加上NIKON精密加工和装配功能,使NSR 1505 G6能够以无与伦比的速度和产量提供高度精确的成像过程。综上所述,NIKON NSR 1505 G6晶片步进器提供极高的成本效益,同时提供极小的特征尺寸、严格的几何公差以及卓越的图像分辨率和视野精度。这使得它成为开发中小型集成电路的理想工具。
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