二手 NIKON NSR 1505 G6 #9236645 待售

NIKON NSR 1505 G6晶圆步进器（Wafer Stepper）是半导体製造光刻工艺中使用的装置。这种器件能够将光学模式传输到硅晶片，该晶片用于生产集成半导体电路。NSR 1505 G6的大型投影镜头在其6英寸晶圆尺寸下最大限度地提高了吞吐量，表现出优异的性能。它专为亚微米应用而设计，具有多种提高设备精度和可靠性的功能。NIKON NSR 1505 G6的光学设备具有投影镜头改善的图像平面平面度、更精细的对准精度和更大的光圈。这确保了准确的模式连续性和改进的配准稳定性。该设备还集成了被称为PALONE-E控制器的实时曝光控制系统，提供了卓越的曝光精度和改进的换挡性能。控制器还集成了许多功能,如自动曝光控制、数字图像移位和自动对焦,可实现精确曝光和对准。NSR 1505 G6还配备了高精度XY级扫描和迭加控制系统。它采用放大的针迹检视器设计，提供改进的覆盖性能和晶圆检查。它还具有改进的高速副光束对准选项,可提高对准速度。该设备设计用于高精度成像,并利用分辨率高达30,000像素的8位数据。该设备还具有4英寸的标线对准精度和5 um的平面平面度。NIKON NSR 1505 G6集成了一个新的照相射击单元和高效的光学滤光机。该消防工具通过结合短光源和长光源的曝光提高精度和吞吐量。滤波资产有助于保持均匀晶圆响应的最佳ISO灵敏度。它还允许精确的曝光控制,同时保持低背景值。NSR 1505 G6还具有自动湿度和粒子计数器，可在光刻过程中精确监测环境条件。它还具有一种维护模式，以便在需要时及时校准和维修。最后，该设备与灵活的自动化清洗模型集成在一起，可以处理各种工艺晶片尺寸和成型，使得工艺效率极高。总体而言,NIKON NSR 1505 G6晶圆步进器是一种复杂的设备,具有更高的精度、准确性和吞吐量。它是为广泛的基板尺寸和应用而设计的，使其成为光刻工艺的可靠和高效的选择。