二手 NIKON NSR 1505 G6D #293665025 待售

NIKON NSR 1505 G6D晶圆步进器是一种精密成像工具，用于制造集成电路、LCD显示器、磁存储器产品和其他微小型设备。NSR 1505减少了工艺时间和能源成本,同时提供了卓越的精度和精确度。NSR 1505 G6D配备了先进的1 X光光光学器件，在15至188 nm的波长范围内开辟了广泛的曝光波长加紫外线（UV）和深紫外线（DUV）。这种大波长范围允许多种应用，包括高分辨率光刻、设备探测、材料研究、高速图样和3D图像处理。NSR 1505还与标准掩码对齐器配合使用,使用户能够灵活地执行高级应用程序。NSR 1505具有高达30kHz的快速扫描速率,最大像素分辨率为3.2 μ m,最小特征大小为0.25 μ m。它还具有6轴平行驱动器对准功能,每次都可精确地重复定位。精密的六轴驱动设备和伺服反馈系统保证快速、低噪声的径向、水平和垂直扫描操作，而ASR稳定监测单元则确保一致的精度。此外,光机还利用了OCR-DF结构、Spectra-Beam 2光源和Extra-Wide NA光学系统等功能,后者可将加工时间缩短40%。NSR 1505结合了Windows XP操作工具以实现平稳运行,并提供可选的N-Vestiti软件,用于同时进行成像曝光、光刻和模具级检查等高级功能。这样可以使资产更快地工作,从而缩短生产周期。此外，NSR 1505的光掩模对准功能在评估晶片上形成的图样时保证了准确性和可重复性。晶圆形状误差检测功能有助于减少曝光的周期时间和建模成本，从而提高光学精度和重复性。最后,包括集成控制器、人体工程学操作站和全自动操作在内的许多其他功能使NIKON NSR 1505 G6D许多尖端应用程序的理想选择。