二手 NIKON NSR 1505 G6D #293817958 待售

NIKON NSR 1505 G6D
ID: 293817958
Stepper Numerical Aperture (NA): 0.45 Resolution: 750 nm DCO:  140 Throughput (WPH): 58.
NIKON NSR 1505 G6D Wafer Stepper是一种设计用于集成电路开发的高精度光刻工具。该晶片步进器建立在NIKON NSR-G6光刻平台上,为芯片生产提供经济高效的性能。它提供0.285µm的最大分辨率,以及低分辨率的迭加误差和精确的对准。NSR 1505 G6D能够处理各种类型的基材如石英、硅、砷化氙等,以及晶片小至2英寸的芯片生产。晶圆步进器配备了双级自动对焦设备和内置对准系统。这使得晶片的对准具有无与伦比的精度,从而产生了高精度的蚀刻图样。该机采用尼康环保G6控制软件供电,提供全自动操作,用户干预最少。用户界面易于使用,为用户提供了对光刻工艺的便捷控制。此外,NIKON NSR 1505 G6D还提供低噪声操作和可选的曝光模式。为确保光刻工艺得到优化,晶圆步进器配备了多种可选功能。其中包括一个板载测量单元,允许用户测量曝光区域的大小和形状。该机器还提供了自动加载机器的选项,使用户能够快速、轻松地输入晶片。此外,通过高速扫描和曝光过程,这台机器能够每小时处理大约40个晶圆。NSR 1505 G6D Wafer Stepper旨在为用户提供经济高效的集成电路生产性能。这种最先进的光刻工具易于使用,其用户友好的界面和可选的曝光模式。凭借出色的分辨率和对准能力,是高精度芯片生产的理想选择。
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