二手 NIKON NSR 1505 G6D #9269101 待售

NIKON NSR 1505 G6D是最先进的晶圆步进器,为要求苛刻的半导体行业提供精密的光刻解决方桉。这款备受追捧的步进器让用户提高了晶圆的开发能力，产生了高精度和重复性的先进半导体器件模式。它结合了先进光学、机动化、精密机器人单元、曝光控制系统和图像分析系统的使用，创造出高质量的晶圆。NSR 1505 G6D旨在为任何大规模晶圆生产带来卓越的生产速度和高精度和成本节约。系统最大曝光面积200毫米x 200毫米，分辨率为30 µm。它带有可编程曝光配置文件,以确保精确的模式复制和准确性。它提供聚焦清晰的图像,最大曝光剂量为5000mJ/cm2。它还提供更高的曝光源、产量和吞吐量,允许较短的周期时间和可靠的生产。此外,NIKON NSR 1505 G6D支持高级图像分析和模式识别,允许自动调整模式并纠正曝光过程中的错误。它具有用于剪接和晶片开发的自动曝光控制系统,以及一系列附加功能,如迭加评估和用户调整最佳曝光时间。它还包括一个最先进的配方接口，以便对曝光参数进行简单的编程。该系统设计用于最低限度的维护和停机时间,仅需要定期进行预防性维护和专业校准,以确保最佳性能。NSR 1505 G6D能够处理从200 mm到300 mm的各种晶圆尺寸,因此适合用于任何大型光刻项目。凭借其先进的功能,它可以定制以适应特定的应用程序,提供最高的成本效率和吞吐量标准。