二手 NIKON NSR 1505 G6D #9269452 待售

NIKON NSR 1505 G6D是先进的晶圆步进器,用于光刻工艺的高级控制和检查。它旨在减少与集成电路的开发和制造相关的时间和成本。步进器具有高精度、高分辨率的5轴运动控制设备，提供0.01 µm的分辨率，可以处理直径达150 mm的晶片。它还包括一个自动调整光学聚焦以匹配每个晶圆拓扑的集成自动聚焦系统，以及一个车载故障和错误检测单元。NSR 1505 G6D能够提供扩展的景深（EDF）成像,大大减少了在晶圆高度之间手动转移焦点的耗时过程。它使用最先进的成像技术执行标准分辨率和HR（高分辨率）成像。此外，它的原位、边缘放置机允许快速的边缘放置校正，导致高水平的对准精度和准确性。NIKON NSR 1505 G6D附带了一套广泛的软件,可实现晶圆映射、自动对准和缺陷检查。它还可以与广泛的测量技术和软件集成，包括掩模分析、薄膜测量工具、光掩模对准和自动缺陷检查。NSR 1505 G6D设计为一种坚固灵活的工具,非常适合当今快速发展的半导体制造业。其高度自动化的设计确保了晶片的连续高精度处理,并最大程度地减少了停机时间。此外,其用户友好的界面和广泛的软件解决方桉使其易于使用,并有助于提高生产效率。NIKON NSR 1505 G6D是先进且经济高效的光刻工艺的完美晶圆步进器。