二手 NIKON NSR 1505 G6E #293592863 待售
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尼康NIKON NSR 1505 G6E是用于半导体光刻的最新、高性能激光扫描步进器。NIKON NSR-1505G6E由高功率扫描仪和先进的共聚焦光学器件驱动,可确保制造超细电子元件所需的精确、快速曝光。NSR 1505 G6E采用最先进的激光扫描仪,可提供高精度成像,同时在曝光期间实现低p-V失真。双柱六极结构提供了出色的稳定性和精确的运动控制，而独立的运动阶段提供了更多的对图像尺寸的控制。该扫描仪采用最新的光学设计,提供0.45nm的出色横向分辨率、增强的光强度和更高的图像均匀性。扫描仪的光学轮廓极为均匀，在整个视场上提供低失真图像。NSR-1505G6E配备了强大的照明设备，具有高的光吞吐量。这使得晶片步进器能达到最佳曝光时间和最大晶片吞吐量，使其成为生产运行的理想选择。计算机控制系统有助于精确的成像和曝光控制。NIKON NSR 1505 G6E具有广泛的可编程参数，如波长图样、狭缝宽度、焦点控制、激光功率、脉冲持续时间和脉冲形状。这些设置可以根据每个应用程序的要求进行自定义。NIKON NSR-1505G6E能够处理直径达200毫米的基板，具有高速、大场曝光能力。它还支持使用MEBES抵抗和LPCVD进程，因此可以在多个应用和情况下使用。NSR 1505 G6E还包括一个高级诊断单元。自诊断机器监视刀具的性能,而远程诊断功能使技术人员能够准确地远程诊断和修复任何问题。总体而言,NSR-1505G6E是一个功能强大的高级晶圆步进器,提供无与伦比的精度和性能。这种晶圆步进器具有高质量的光学、扫描仪、照明资产和可编程参数，是半导体光刻的理想选择，并将在未来几年继续为行业服务。
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