二手 NIKON NSR 1505 G6E #293665027 待售

NIKON NSR 1505 G6E
ID: 293665027
Steppers.
NIKON NSR 1505 G6E是目前市场上最先进、最可靠的步进之一。NIKON NSR-1505G6E是半导体和平板显示行业中用于光刻、检查和工艺控制的多功能成像设备。高分辨率步进器支持4英寸和5英寸单面/双面场成像,用于全晶圆和单片级检测。NSR 1505 G6E是一款高端机器,具有一长串功能,可帮助它从精度和速度要求两方面实现高性能。配备5英寸平场高数值孔径(NA)投影镜头,电动XY级,二极管激光源,高分辨率相机,以及提供270mm投影工作空间的光学校正1-5x光学变焦系统。NSR步进器还拥有一个高速变焦单元,每秒最多20个影像帧,以及一台扫描机,使操作员能够以最高的可用精度快速获取高分辨率的图像,使其成为要求最苛刻的应用程序。NSR-1505G6E还具有高度自动化的平台,能够更快地加载和卸载晶圆。这包括一个自动工具,用于将晶片与摄像机的视场对齐,从而无需手动对齐。NIKON NSR 1505 G6E还配备了图像处理单元,可以更快地进行图像采集、分析和处理。这大大减少了操作员的工作量并提高了生产率。NIKON NSR-1505G6E步进器还通过其Auto Alignment软件提供了目前最先进的对齐技术。此自动化特征通过自动确定相对于晶圆的最佳对准模式,然后利用该模式对准每个光场位置来确保最高的对准精度。NSR 1505 G6E还利用了获得NIKON专利的Global Alignment资产,该资产可以自动检测整个晶圆之间的未对齐情况并采取相应行动。最后,NSR-1505G6E提供了一系列高级流程控制,其中包括各种选项,使用户能够配置模型以满足其特定要求。它包括一个自动对焦设备,用于在整个现场优化焦点位置,同时在成像过程中保持对齐,并包括高级数据分析和报告工具,以帮助跟踪过程。所有这些功能都展示了NIKON NSR 1505 G6E在众多应用程序中的卓越性能和可靠性。
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