二手 NIKON NSR 1505 G6E #293717119 待售

NIKON NSR 1505 G6E是一种高精度、5轴晶圆步进器，用于无掩模光刻操作中的光刻图样。它配备了x、y、z、θ和旋转轴控制,为关键晶圆级设备操作提供了卓越的步骤和重复精度。它还具有独特的镜像扫描系统,可实现整个成像领域（包括外围区域）的高均匀性,以用于需要高分辨率阵列的应用程序。在内部,系统构建在集成了光学、成像、运动控制和PC的多合一体系结构上,从而无需添加单独的控制组件。这样可以减少所需的空间,简化对齐方式并缩短设置时间。NIKON NSR-1505G6E还具有超高的分辨率和出色的可重复性,能够通过其自动校正功能识别晶圆上的散射微点。这样可以提高成像质量,特别是在识别整个晶圆场的均匀性时,使其成为细线阵列和其他小型化特征的理想选择。NSR 1505 G6E是完全自动化的,具有完全可操作员配置的基于PC的操作软件,允许操作员自定义设置和程序错误检测例程。它与所有CAD程序兼容,并且能够通过自动控制和重复操作功能进行无缝操作。此外,系统会记录所有数据,以确保精确的模式并最大程度地减少人为错误。NSR-1505G6E中包含的高级算法和扩展控制设置允许最大程度地控制曝光和对齐。它具有大的可编程照明和自动曝光控制功能，允许调整曝光设置，以防止图像失真。NIKON NSR 1505 G6E可靠性很高,保证了精度和高速.它功能强大但简单易用,具有完全集成的光学、成像和运动功能,适用于大型晶圆布局和小型设备制造。