二手 NIKON NSR 1505 G6E #293817955 待售

NIKON NSR 1505 G6E
ID: 293817955
Stepper Numerical Aperture (NA): 0.54 Resolution: 650 nm DCO: 140 Throughput (WPH): 58.
NIKON NSR 1505 G6E是半导体制造工艺中用于光刻的先进晶圆步进器。它是一种步进扫描投影对齐器,能够在大直径半导体基板上提供高密度的芯片图样曝光。该设备可精确成像直径达200毫米的晶片,并可容纳用于将晶片分割成两个图样晶片的双晶片工艺。该G6E是一个多扫描步骤和重复系统,能够提供更快的处理时间和高速。该单元配备了精密0.35数值孔径的最先进的光学机器、高分辨率扫描仪、强大的舞台定位工具以及先进的图像校正技术。这种特性的组合使资产能够提供极好的覆盖和放置精度<1.5毫米的间距,深度可达10微米。该型号还配备了高速伺服电动机,用于更快的曝光脉冲应用,以及坚固耐用的驱动设备,确保在曝光时进行精确的晶圆处理。该系统还包括一个高效的冷却机构和一个先进的快门单元,用于可靠的曝光。NIKON NSR-1505G6E是一个强大的机器,设计可靠和高效的操作。该工具利用由主CPU和晶圆处理CPU组成的双CPU资产。主CPU负责控制模型,而晶圆处理CPU处理曝光处理和晶圆处理。这种结构通过两个CPU之间更好的通信提供了高吞吐量和更高的准确性。NSR 1505 G6E还设计了用户友好的软件,提供了满足各种处理条件的各种选项。它配备了多曝光功能,允许用户在同一晶片上处理多次曝光。此功能减少了处理时间,提高了总体吞吐量和准确性。NSR-1505G6E是一种先进的晶圆步进器,旨在满足最先进的光刻工艺的要求。设备配备了最先进的光学系统、先进的晶圆处理技术、用户友好的软件。这些特性及其强大的设计使设备能够持续提供高质量的曝光结果。
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