二手 NIKON NSR 1505 G6E #9160454 待售

NIKON NSR 1505 G6E是一种高性能、半自动化的晶圆步进器，旨在帮助制造商采取节省成本的措施，提高其整体产量。该设备采用了高度可靠、经济高效和用户友好的设计，使得半导体行业能够大幅降低成本和优化产量。该系统由管理晶圆处理功能的主单元和电源模块组成。主机总共配备了5个轴，包括一个旋转卡盘和精细定位（Z轴）型级以及一个光学模块和步进头。光学模组有水银灯和镜像变焦装置（MZU），可进行高精度成像和检查。步进器能够执行广泛的晶圆处理功能，如光刻、电子束光刻、凹版蚀刻、激光蚀刻、干蚀刻和离子蚀刻。NIKON NSR-1505G6E单元具有高速和高度精确的处理能力,并具有较低的拥有成本。该机配备了先进的控制软件，在晶圆处理应用方面提供了易用性和多功能性。此外,该工具还具有与NIKON知名的Scanning Prober和Wafer Metrology Technology平台（SP 200和NMX）集成的功能,用于自动创建晶圆地图。NSR 1505 G6E实现了优异的光刻效果，最小光斑尺寸为10µm，高公差精度为0.5µm，确保了最优屈服优化。该资产还提供了优化的卡盘底座和晶圆处理能力,从而实现了快速对齐和标线交换。此外，该模型采用双功能"冷板晶圆温控"功能进行精确温度控制，优化产量和稳定性。该设备还为方便的可扩展性而设计，使用户可以通过经济高效的解决方桉轻松扩展产品线。NIKON NSR 1505 G6有多种配置,有多种部件和组件可根据特定客户需求进行修改。总体而言,NSR-1505G6E是一个直观、通用且高度可靠的系统,可实现低成本的高精度晶圆处理。凭借强大的性能和能力,该设备非常适合希望降低成本和改进生产成果的制造商。