二手 NIKON NSR 1505 G6E #9195756 待售

NIKON NSR 1505 G6E Wafer Stepper是一款先进的光刻设备,具有业界领先的性能和先进的工艺控制功能。该系统以125 nm的最小线宽能力和优异的对焦深度提供了一个整体优越的光刻体验，并为满足复杂基板的需求而设计。该单元设计用于处理广泛的柔性基板，包括超高长宽比和大面积基板，确保各种尺寸的颗粒不会干扰暴露过程。该机采用两种集成的磁场镜头，提高了图像失真和磁场平面度，有效地提高了图像质量和分辨率。该工具借助高级自动对焦机构提供了卓越的迭加能力，该机构专为高精度和可重复性而设计。先进的模式匹配技术确保了准确的数据采集，提供了均匀性和模式放置精度。此外,资产还具有增强的背板定位模型,可减少不对齐情况,并提高曝光期间基板支架设置的准确性。该设备配备了直观、用户友好的自动作业编辑器，旨在确保一致的用户性能和可重复性。此外,该平台还配备了集成的光学HDX扫描仪,可实现精确的标线特征。此外，该系统还具有先进的OPC功能，能够提供更高的光掩码和图样精度。该装置的先进晶圆处理技术旨在减少循环时间，从而提高了吞吐量。该机高吞吐量，结合优越的分辨率能力，可实现快速吞吐量和高吞吐量均匀性，从而确保优越的光刻效果。NIKON NSR-1505G6E专为高端可靠性和过程稳定性而设计。该工具的模块化和高能效设计确保了操作过程中极低的维护要求。此外,该资产还提供了一套全面的数据采集功能,使其适用于各种应用程序。全球支持由NIKON提供，允许用户将模型无缝集成到他们的生产过程中。