二手 NIKON NSR 1505 G6E #9204502 待售
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ID: 9204502
晶圆大小: 4"
优质的: 1988
Stepper, 4"
Sapphire wafer
Wafer type: Flat
Chamber type: ASAHI S7I
Chamber width: 1500 mm
Computer: PDP11
HP 5517A Laser
Wafer alignment: LSA, WGA
Wafer carrier table: Left and right
NIKON ITV Camera
OMRON Of detection, 4"
Wafer loader type: Type1
Reticle size: 5"
Reticle library slots: (13) Main slots
Rack type: Normal right position
1988 vintage.
NIKON NSR 1505 G6E Wafer Stepper是一种下一代光刻工具,用于在晶圆上创建高精度的印记。它旨在提供一种在半导体晶片上制造亚微米结构的快速可靠的方法。该设备利用先进的扫描、对准和成像系统提供高达每小时150晶圆的处理速度,同时保持高水平的可重复性和准确性。NIKON NSR-1505G6E Wafer Stepper配备了一个9英寸的光刻单元,该单元具有一系列串联工作的组件,可以快速创建精密的光刻打印。该机器采用150毫米后置镜头,能够打印分辨率高达8.5微米的图像,最小间距为0.07微米。该工具还配备了超高分辨率图像通道、140-GHz光栅扫描资产和自动对齐模型,以确保光刻印刷品在晶圆上的准确定位和放置。此外,该设备还能够进行编程,以便在非矩形对象(如MEMS、光子晶体和其他特殊结构)上精确创建形状。为便于优化制造,系统配置了各种平版印刷版,使用户能够制作给定应用程序所需的精确图像和形状。此外,该单元还配备了先进的控制机器,使用户能够对平版印刷进行编程和控制,以实现定制的分辨率、音高和对比度。为了增加安全性,该工具安装在空气密封、无尘的环境中,以最大限度地延长设备的使用寿命。资产还配备了自我诊断模型,可以提醒用户注意任何维护要求,如更换滤镜或清洗镜片。NSR 1505 G6E Wafer Stepper是一种高度精确可靠的光刻仪器,能够适应各种应用。通过结合高分辨率成像、先进的控制和对准系统以及大量的光刻面膜,该设备能够为任何应用制作快速、可靠和精确的光刻印刷品。
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