二手 NIKON NSR 1505 G6E #9206224 待售

NIKON NSR 1505 G6E
ID: 9206224
晶圆大小: 2"
优质的: 1989
Stepper, 2" 1989 vintage.
NIKON NSR 1505 G6E是一种高精度晶圆步进器,旨在为苛刻的光刻应用提供可靠的生产力和高性能对齐。NIKON NSR-1505G6E具有6英寸晶圆扫描功能,可提供无与伦比的精度和吞吐量。步进器创新的双功率高压放大器设备与先进的Gunning聚焦系统(GFS)配合使用,与广泛的专用镜头实现卓越的成像一致性。NSR 1505 G6E有一个集成的同步成像单元,用于将特征精确对齐到亚微米级。这台机器可以同时精确扫描和成像布局和闸门图样中的所有必要参数,而无需额外的镜头。这大大提高了流程的效率和准确性,简化了整体设计流程。步进器基于获得专利的CNA Drive Tool,可在整个晶片上快速准确地对准。该资产设计为便于用户使用,可改进流程监测。NSR-1505G6E还提供了更高的灵活性,提供了广泛的工艺定制选项,如暗场计量、原位透镜涂层和在线校正功能。NIKON NSR 1505 G6E还通过其先进的Clean Scan功能提高了性能。该模型旨在减少晶片受到光污染的暴露,因为它在不同时间扫描晶片,并过滤出任何在扫描过程中可能与晶片接触的流氓尘埃颗粒。这显着降低了粉尘颗粒在对准过程中进入晶片的缺陷风险。NIKON NSR-1505G6E还提供了一个高级质量监视器,记录详细的过程历史。这使用户能够在多个运行过程中监视详细的质量性能信息。这是步进器的模模优化特性的补充,可用于提高一系列晶片光刻工艺的性能和精度。NSR 1505 G6E是一款先进高效的晶圆步进器,旨在为要求苛刻的光刻应用提供高精度和吞吐量。它具有多种功能和选项,非常适合高度复杂的流程,而高性能的对齐功能和同步成像设备使其成为任何应用程序的可靠和准确的选择。
还没有评论